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山東力冠微電子裝備

產(chǎn)品展示


聯(lián)系方式


地址:濟(jì)南市槐蔭區(qū)濟(jì)南寬禁帶半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園

電話(huà):15562450816

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石墨烯薄膜CVD設(shè)備

◆ 本系統(tǒng)是一套完備的石墨烯制備系統(tǒng),包括硬件和軟件部分 ◆ 工作在常壓氣氛或真空條件,通過(guò)控制生長(zhǎng)工藝,既可以生長(zhǎng)出六邊形的石墨烯單晶,也可以生長(zhǎng)出花瓣?duì)畹氖┑膯尉?

石墨烯卷對(duì)卷

? 石墨烯薄膜產(chǎn)業(yè)化設(shè)備 ? 寬幅卷對(duì)卷連續(xù)生長(zhǎng) ? APC系統(tǒng):真空蝶閥自動(dòng)控制 ? 碳源等工藝氣體MFC控制 ? 薄膜制備過(guò)程全自動(dòng)控制 ? 三腔室結(jié)構(gòu)

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