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山東力冠微電子裝備

產(chǎn)品展示


產(chǎn)品分類

暫無數(shù)據(jù)

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地址:濟(jì)南市槐蔭區(qū)濟(jì)南寬禁帶半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園

電話:15562450816

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SiC高溫氧化爐

專用于SiC晶圓的高溫氧化工藝,可實現(xiàn)晶圓片高溫真空環(huán)境下完成氧化工藝。可使用O2,N2O,NO,NO2或濕法氧化,采用無金屬加熱和真空裝備。 適用工藝:氧化

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